一定流量的氨气和氢气同时进入纯化装置，先经氮氢自动配比装置和静态混合器均匀混合，再进入催化脱氧器，在催化剂作用下，氨气中的余氧与氢反应生成水，化学反应式：2H2+O2=2H2O,氮气在经过滤水后脱氢器除去过量氢，如果工艺允许氮气中含有一定的氢气，则不脱氢。氮气最后经冷干机和吸干机除去水分得到干燥的高纯度氮气。